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广州稳定性好真空镀膜公司

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-01-21 2:31:51 * 浏览: 0

塑胶喷涂各种蒸发器材料所适用的蒸发金属(膜材),其匹配性见表10-5。

真空镀膜    其中,电阻加热式蒸发源实际上就是一个电阻加热器,它是利用发热体通电后,产生焦耳热而获得高温,以此来熔融膜材使其达到蒸发的目的由于这种源结构简单,操作方便,成本低廉,材料易于获得,因此,在镀膜技术中得到了广泛的应用。    (1)丝状源与舟状源    用难熔金属制成的丝状或舟状电阻源是目前应用z*广泛的一处蒸发源。其金属丝、锥形筐和线圈可以是单股线的或多股线的。图10-2为丝状源简图,图10-3为舟状源简图。    目前用于电阻加热式热源的材料有W、Ta、Mo、Nb等高融点金属,有时也用Fe、Ni、Ni-Cr合金等,其中z*常用的是钼片和钨丝。    (2)铝蒸发用坩埚加热器。在真空镀膜技术中,蒸友铝材占有重要的地位。在电子工业,光学零件特别是轻工业中蒸镀铝膜是非常普遍的。    ①石墨坩埚加热器。一般认为,连续式蒸发设备所使用的蒸发源应具备的性能是:蒸发效率应足够高;使用寿命应足够长;坩埚与蒸发材料不发生反应;能长时间稳定地蒸发并能自动补充蒸发材料。

五金电镀真空镀膜设备型号编制方法:

pvd真空电镀当压力变化值在0.5h内不超过5%时,取测量表读数z*高值为极限压力值,且镀膜室内各旋转密封部位处于运动状态    (3)抽气时间的测定    ①试验条件:同极限压力测定的试验条件之a、b、c、d。    ②测试方法:设备在连续抽气条件下,在镀膜室内达到极限压力之后,打开镀膜室15min,再关闭镀膜室对其再度抽气至表10-31中所规定的压力值所需的时间,定为该设备的抽气时间。    (4)升压率测定    ①试验条件:同极限压力测定。    ②测试方法:设备在连续抽气24h之内使镀膜室内达到稳定的z*低压力之后,关闭与镀膜室相连接的真空阀,待镀膜室压力上升至P1(1Pa)时,开始计时,经1h后记p2,然后按下式计算升压率:。

真空电镀卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜技术的发展,卷绕速度有待提高。    ②带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要,因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定,才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜(如电容器膜)尤为重要。    ③带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高,带状基材在卷绕镀膜过程中,起褶和发生偏斜,严重时会造成基材的断裂,使生产中断,既影响生产效率,又浪费材料。因此,在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。    卷绕镀膜机真空抽气系统分上室下室两组,下室为蒸镀室,要求真空度高,主泵多为油扩散泵。上室为基材卷绕室,要求真空度较低,为罗茨泵机组或扩散泵一罗茨泵一机械泵组。一般蒸镀室要达到的真空度为1x10-3Pamdash,2times,10-3Pa,而工作压力为1times,10-2Pamdash,2times,10-2Pa,而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。

电阻式加热方式常用蒸发源材料有钨、钽、铝等其性能见表10-4。    表10-4蒸发源所用金属材料的性质。

所以生产成本亦可降低    (2)感应加热式蒸发源的结构    日本真空株式会社(ULVAC)生产的EW系列卷绕式高真空镀膜机中用的感应加热式蒸发源结构,如图10-8所示。电源为高频发电机组,电压450V,频率为9727Hz。该系列坩埚共有四个品种,其标准尺寸见表10-1。    内径坩埚的装料是1000g,坩埚使用寿命平均达18次~20次。为了延长坩埚使用寿命,在次装铝料时,应加入4%的钛,以后可适当减少,其目的是在坩埚的内表面形成一层TiC,以防止铝直接与坩埚发生反应。    除上述各种蒸镀方法外,其它蒸镀方法及其实用性见表10-2。。

早期精制金属时,采用氢还原及化学输送反应现在广泛使用的反应方式有加热分解、氧化、等离子体激发、光激发等。各种反应方式及生成物见表10-18。。

装置采用射频感应加热,反应在基片与感应体附近发生,管壁沉积很少,硅膜生长速率为1mu,m/minmdash,3mu,m/min。

目前各类镀膜设备基本齐全,种类繁多,满足了各行业的需要真空镀膜设备主要类型有真空蒸发镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、离子镀膜设备、化学气相沉积镀膜设备等。各类镀膜设备及生产厂家见表10-31。。