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进入上世纪70年代以后由于国民经济各种领域的需求各类真空镀膜设备得到了长足的发展目前各类镀膜设备基本齐全种类繁多

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-21 4:19:50 * 浏览: 17

东莞pvd真空电镀厂家几种常用的镀前处理工艺过程及配方见表15-13。

东莞PVD电镀工艺图10-9给出的是从一个小平面s到与s平面相平行的基片上的蒸发情况。

东莞表面处理工艺电阻加热、高频加热、电子束加热方式各有特点,其性能比较见表10-3。

五金电镀公司图10-28给出了外延生长硅单晶膜CVD装置简图此装置在高温下,在硅基片上外延生长硅单晶膜。可制作出均匀膜层,膜层厚度1mu,m~2mu,m。。

东莞真空电镀哪里有该装置的真空室(6)分为上室(7),左下室(8)和右下室(9)蒸镀时,两组蒸发源(19、23)蒸发的镀膜材料(21、25)分别沉积在塑料薄膜(11)上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器(、16)。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。该装置示意图见图1图1改进的卷绕式蒸镀装置近年来,高速低温溅射法发展很快,使高熔点金属如铬、钛、钨、钼等的沉积成膜成为可能。镀膜室直径1400mm,高2200mm的大型钟罩式溅射镀膜机和长mm,宽7.6mm的大型串列式溅射镀膜机已投入使用。最近,日本专利提出一种卷绕式溅射镀膜机,该机可镀两种不向的镀膜材料,并在溅射区和第二溅射区之间装温度控制装置(),加强对基材的冷却,保证在镀膜层较厚和沉积速度较快的情况下,基材不会发生卷缩和变形。该装置示意图见图1。真空室(1)装有溅射靶(4a4b)和阳极(14a14b),两个靶分别与直流电源(5a5b)相接,对塑料薄膜(8)进行溅射。辊筒(11a11b11c))有各自的冷却温度。。

    电子束轰击膜材,将激发出许多有害的散射电子,如反射电子、背散射电子和二次电子等图10-5中的吸收极6吸收这些有害电子,可以保护基片和膜层。    (2)空心热阴极等离子电子束蒸发源    空心热阴极等离子电子束蒸发源简称HCD枪。    ①HCD枪的工作原理及特点:    HCD枪的原理如图10-6所示。空心钽管作阴极,膜材作阳极,置于真空室中。用泵将真空室抽到高真空后,在钽管中通入少量的氩气,使真空室内保持1Pa~10-2Pa的真空度。这时在阴阳极之间加上引弧电源,点燃氩气。当电压达到点燃电压UB时,则氩气被电离。这样就在中空阴极内产生低压等离子体,直流放电电压约为100V~150V,电流只有几个安培。一旦氨气被电离,等离子体中正离子就会不断地轰击阴极钽管。当钽管上有8段受热达到工作温度2300K-2400K时,即可出现热电子发射,使放电转变到稳定状态,电压下降到30Vmdash,50v,同时使等离子电子束流增大到一定值。

CVD法涂覆难熔金属的反应式及温度由表10-21给出。

    一是可以防止紫外线对车漆的损伤,在阳光直射,车漆受到紫外线的长期照射后,里面的化学结构会发生缓慢的改变,失去光泽、异色斑点,甚至发生龟裂;二是可以防止雨水对车漆的损害,雨水中的酸性物质也在不断增加,盐分和其他物质附着在车漆上,造成对漆面的持续损伤;三是可以防止外界的刮花,车身镀膜处理的汽车车体表面的硬度提高,减少行驶中沙粒对车漆造成的划痕;四是可以提高车身的光滑度,使车身整体美观光亮,同时也方便清洗    其实车身镀膜还有很多好处,比如:修复细微划痕、抗氧化、抗老化等作用。那么车身镀膜由原来传统的水电镀工艺设备,发展到现在高科技的真空镀膜。那么后者更高效更环保,是现在镀膜工艺的s*先设备。。

进入上世纪70年代以后,由于国民经济各种领域的需求,各类真空镀膜设备得到了长足的发展目前各类镀膜设备基本齐全,种类繁多,满足了各行业的需要。真空镀膜设备主要类型有真空蒸发镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、离子镀膜设备、化学气相沉积镀膜设备等。  各类镀膜设备主要性能见表10-32~表10-35。。

可拆卸屏蔽环能够防止非靶材构件的溅射,并且可以拆卸下来清除沉积其上的膜层其余构件的作用与其它磁控靶的构件相同。。