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东莞防潮性强真空镀膜工厂

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-03-14 2:33:35 * 浏览: 6

真空电镀哪里有此外,由于电子轰击,对多数化合物易产生分解作用,因此不宜蒸镀化合物薄膜    (1)磁偏转式电子束加热蒸发源    电子束作为熔化膜材的热源,其种类较多,诸如熔滴式、直枪式、环式等。由于这些热源在用于真空蒸镀设备上均存在许多缺点,因此已被磁偏转式电子束热源所代替。    磁偏转式电子束蒸发源所发射的电子轨迹与e相似,故有e型电子束源之称,简称e型枪。图10-4给出了国产两种型式的e型枪。e型枪的工作原理如图10-4所示。阴极灯丝加热后发射出具有0.3eV初始动能的热电子,这些热电子在灯丝阴极与阳极之间受极间电场制约,不但可以按一定的会聚角会聚成束状,而且还会受磁场的作用,沿Etimes,B的方向偏转。到达阳极孔时,电子能量可提高到10keV,通过阳极孔之后,电子束在偏转磁场的作用下偏转270o,入射到坩埚内的膜材表面上轰击膜材使之加热蒸发。    电子束轰击膜材,将激发出许多有害的散射电子,如反射电子、背散射电子和二次电子等。图10-5中的吸收极6吸收这些有害电子,可以保护基片和膜层。    (2)空心热阴极等离子电子束蒸发源    空心热阴极等离子电子束蒸发源简称HCD枪。

东莞五金电镀设备清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物5、落下钟罩。6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。7、开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。8、多弧离子镀膜机当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。9、真空镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。10、低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀。使用真空镀膜设备一定要注意的5点事项1、不经意间的遗漏往往会致使事端的发作。如某厂镀铬工序的硅整流器疏于办理,使老鼠钻入箱体内形成了短路事端。

东莞表面处理真空镀膜中,镀膜机常用的蒸发源有电阻式加热蒸发源、电子束式加热蒸发源、空心热阴极等离子束蒸发源、感应式加热蒸发源  表10-7给出了适于蒸发各种元素的蒸发源材料。。

东莞电镀哪里有电阻加热、高频加热、电子束加热方式各有特点,其性能比较见表10-3。

东莞电镀加工公司其不足是:由于真空度高,绕射性较差;要求频率源与电极之间需有匹配箱,并随镀膜参数变化而调节;蒸发源与频率源之间易产生干扰;射频对人体有害,需加防护。

表10-23给出了各种化合物薄膜形成方式,成膜条件、膜的特点及用途。

真空镀膜设备主要类型有真空蒸发镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、离子镀膜设备、化学气相沉积镀膜设备等  各类镀膜设备主要性能见表10-32~表10-35。。

一般塑料基薄膜材料含水量为1%~2%,纸含水量更大,一般为5%-7%,经涂布烘干后,含水量仍有3%由于基材含水量高,故镀膜室由初始的单室发展到目前双室或多室结构。蒸发源可以是电阻式、感应式、电子柬式以及磁控溅射式。双室结构应用普遍,其优点是:①可以蒸镀放气量较大的纸基材,并能保障镀膜质量。纸放出的大量气体从卷绕室中被排走。由于卷绕室与蒸镀室之间隔板窄缝很小,使放出来的气体不易进入蒸镀室中;②单室结构必须配置较大的排气系统才能保障蒸镀时的工作压力,而双室结构中的蒸镀室气体量较小,可配小型抽气机组,使设备成本降低,并节约能源;③卷绕室与蒸镀室分别抽气,可缩短抽气时间。    卷绕式真空镀膜机在结构上除了有一般镀膜机所有的结构外,必须有一个为了实现连续镀膜而设置的卷绕机构。由于被镀基体是纸或塑料,放气量较大,因此,在真空室的结构上又有单室和多室之分,卷绕式双室真空镀膜机的结构如图10-10所示。    卷绕机构设计中应考虑的几个问题:    ①提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜技术的发展,卷绕速度有待提高。

对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中    清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。。

从蒸镀材料方面来讲,蒸发源应能够蒸镀Al、Ti、Fe、Co、Cr及其合金,以及Si0、Si02、MgF、ZnS等。