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东莞稳定性好真空镀膜公司

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-01-26 2:41:23 * 浏览: 0

纳米喷涂工厂各类镀膜设备及生产厂家见表10-31。

纳米喷涂主要用于半导体器件制造上表10-20给出了绝缘膜种类、制作方法及用途。图10-31为热壁反应室结构简图,减压装置的工作压力为10Pa~1000Pa。。

东莞电镀公司其性能见表10-4    表10-4蒸发源所用金属材料的性质。

东莞pvd真空电镀    除上述各种蒸镀方法外,其它蒸镀方法及其实用性见表10-2。

东莞真空镀膜工厂真空镀膜中,镀膜机常用的蒸发源有电阻式加热蒸发源、电子束式加热蒸发源、空心热阴极等离子束蒸发源、感应式加热蒸发源  表10-7给出了适于蒸发各种元素的蒸发源材料。。

为了适应这种要求,只采用电阻加热式蒸发源已不能满足蒸镀某些金属和非金属材料的需要电子束作为蒸镀膜材的热源就是在这种情况下发展起来的。    电子束加热原理是基于电子在电场作用下,获得动能打到膜材上,使膜材加热气化,实现蒸发镀膜。    电子束加热源有如下优点。    ①能获得远比电阻热源更大的能量密度,数值可达到104W/cmsup2,~109W/cmsup2,,因此可以将膜材表面加热到3000℃~6000℃。为蒸镀难溶金属和非金属材料如W、Mo、Ge、Si02、A1203等提供了良好的热源。而且由于被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内的,因而可以避免坩埚材料蒸发及其与膜材之间的反应,这对提高膜的纯度是极为重要的。    ②热量可直接加到膜材表面上,热效率高,热传层和热辐射损失少。    电子束加热的缺点是电子枪结构较复杂,而且加速电压较高,高压下所产生的X射线对人有害。此外,由于电子轰击,对多数化合物易产生分解作用,因此不宜蒸镀化合物薄膜。    (1)磁偏转式电子束加热蒸发源    电子束作为熔化膜材的热源,其种类较多,诸如熔滴式、直枪式、环式等。

真空镀膜设备型号编制方法:

    基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物,零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜,零件表面吸收和吸附的气体这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。    对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至z*小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。    清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。。

    在超导领域,有快速蒸发、低温凝聚的InSb非晶超导膜,高纯度Nb超导溅射膜以及Nb-Ge系、Nb-(Cu)系、V-Hf-Zr系超导膜等  在声学应用方面,ZnO薄膜是一种优良的压电薄膜材料,它具有机电耦合系数大,温度性能好,容易在各种非压电基片上形成择优取向等优点。  除了上述应用之外,真空镀膜技术在激光同位素分离、复印技术、红外技术、包装、装饰、手工艺制品、催化以及敏感测量元件等方面都有重要的用途。。

随着卷绕速度的提高,带状基材在卷绕镀膜过程中,起褶和发生偏斜,严重时会造成基材的断裂,使生产中断,既影响生产效率,又浪费材料因此,在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。    卷绕镀膜机真空抽气系统分上室下室两组,下室为蒸镀室,要求真空度高,主泵多为油扩散泵。上室为基材卷绕室,要求真空度较低,为罗茨泵机组或扩散泵一罗茨泵一机械泵组。一般蒸镀室要达到的真空度为1x10-3Pamdash,2times,10-3Pa,而工作压力为1times,10-2Pamdash,2times,10-2Pa,而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。有时卷绕镀膜机以增扩泵(油扩散泵的一种)为主泵,它的极限压力虽然不及油扩散泵,但其抽速范围向高压方向延伸一个数量级,非常适宜此类蒸发的镀膜过程。    目前国内卷绕式镀膜机蒸发源多采用坩埚蒸发,其材质有氮化硼、石墨、钼等。氮化硼由于电学及热学性能好,使用寿命长,因而较为普遍地应用于卷绕镀膜机中。每个坩埚的加热功率为6kWmdash,8kW,加热电压为10Vmdash,12V。坩埚数量由基材幅宽来确定。辐宽愈宽坩埚数量愈多。